國內領先的自動化物料搬運系統（AMHS）供應商彌費科技宣布，已成功完成面向某頭部晶圓制造企業的整廠AMHS系統驗證與交付。此舉標志著彌費科技成為國內首家實現半導體領域AMHS系統級整體交付的企業，打破了該領域長期由國際巨頭主導的局面，是我國半導體產業鏈核心裝備自主化進程中的一項重大里程碑。

AMHS（Automated Material Handling System）是半導體晶圓廠的生命線，負責在復雜的潔凈室環境中，高效、精準、無人化地傳輸晶圓載具（如FOUP）。它如同晶圓廠的“智能血管”與“高速公路網絡”，直接關系到工廠的生產效率、產品良率與運營成本。長期以來，高端晶圓廠的整廠AMHS系統設計、集成與交付能力被少數幾家國際公司所壟斷。

彌費科技此次完成的系統級交付，并非單一設備的供應，而是涵蓋了從前期方案設計、軟硬件集成、系統仿真測試到現場安裝調試、最終驗收的全流程。該系統成功通過了客戶嚴苛的工廠驗收測試（FAT）和現場驗收測試（SAT），各項性能指標均達到國際先進水平，實現了在300mm晶圓產線中與客戶現有生產設備（如光刻機、刻蝕機等）及生產執行系統（MES）的無縫對接與穩定運行。

這一突破性成就具有多重深遠意義：

1. 產業鏈自主可控的關鍵一步：在半導體制造裝備“卡脖子”環節取得實質性進展，降低了國內先進晶圓廠建設與升級對外部技術的依賴，增強了供應鏈安全與韌性。
2. 技術能力獲得權威認可：整廠AMHS系統的成功交付，是對彌費科技在機械設計、運動控制、軟件算法、系統集成等全棧技術實力的最高規格驗證，證明了其已具備與國際一流廠商同臺競技的系統級解決方案能力。
3. 助推產業降本增效：國產AMHS系統的規模化應用，有望顯著降低晶圓廠的設備投資與運維成本，同時憑借更貼近本土客戶的服務與快速響應能力，提升國內半導體制造業的整體競爭力。
4. 樹立行業新標桿：彌費科技的實踐為國內半導體設備廠商向更高價值、更復雜的系統級產品邁進提供了成功范本，將激勵產業鏈上下游企業加大研發與創新投入。

隨著全球半導體產業格局的深刻調整與中國半導體產業的持續高速發展，對高性能、高可靠性的國產化AMHS需求將日益迫切。彌費科技此次里程碑式的交付，不僅鞏固了其在國內AMHS領域的領軍地位，更預示著一個由本土力量深度參與、共同塑造的半導體高端裝備新時代正在加速到來。公司表示，將繼續深耕核心技術，與產業鏈伙伴緊密合作，為推進中國半導體產業的全面自主化與高質量發展貢獻堅實力量。